打开电压源后，一个电极带正电，另一电极带负电。正负电极间相互吸引，使两极之间的有机硅薄膜发生形变。因为有机硅的体积实际上是不可压缩的，有机硅薄膜在这种作用下会变得更薄、更宽，但体积保持不变。放电后，有机硅薄膜会使两个电极重新分开。